株式会社パテント・リザルトは12月5日、「半導体製造装置業界」の特許を対象に、各社が保有する特許資産を質と量の両面から総合評価した「半導体製造装置業界 特許資産規模ランキング2025」をまとめました。2024年4月1日から2025年3月末までの1年間に登録された特許を対象に、個別特許の注目度を得点化する「パテントスコア」を用いた評価を行い、企業ごとに総合得点を集計しました。
集計の結果、1位 東京エレクトロン、2位 APPLIED MATERIALS（米）、3位 ＳＣＲＥＥＮホールディングスとなりました。
集計の結果、1位 東京エレクトロン、2位 APPLIED MATERIALS（米）、3位 ＳＣＲＥＥＮホールディングスとなりました。
1位 東京エレクトロンの注目度の高い特許には「異常の発生からプラズマ処理空間への電力の供給を停止するまでの時間を短縮するためのプラズマ処理装置」や「第２のウェハの表面に形成されたデバイス層を第１のウェハに適切に転写することができる重合基板用の基板処理方法」に関する技術が挙げられます。
2位 APPLIED MATERIALSは「熱処理チャンバ内の有機化合物を管理する装置」や「薄いマスク層を有し、選択的堆積に適した低アスペクト比のマスク開口部を備える堆積マスクの製造方法」に関する技術などが注目度の高い特許として挙げられます。
3位 ＳＣＲＥＥＮホールディングスの注目度の高い特許には「製品基板の搬送への影響を軽減しながら、ダミー基板を用いた処理を行える装置」や「搬送方向に搬送される印刷媒体に互いに異なる複数のインクを吐出して高品質な画像を低コストで印刷する印刷装置」などに関する技術が挙げられます。
4位 ディスコは「加工精度に優れ、基台との高い接着力が得られるバイト工具」が、5位 LAM RESEARCHは「誘導結合プラズマを用いて、プラズマの安定制御と効率的なマッチングを実現した基板処理システム」が、注目度の高い特許として挙げられます。
詳細については、ランキングデータ「半導体製造装置 特許資産規模ランキング2025」にてご覧いただけます。
■価格：50,000円（税抜）
お申し込みは下記URLをご参照ください。
https://www.patentresult.co.jp/ranking/scale/2025/semicon.html
■本件に関するお問い合わせ先
株式会社パテント・リザルト 事業本部 営業グループ
ホームページURL：https://www.patentresult.co.jp/
メールアドレス：info@patentresult.co.jp
■会社概要
社名：株式会社パテント・リザルト
住所：〒101-0021 東京都千代田区外神田2-19-3 お茶の水木村ビル7階
